Semiconduttori

I processi dei semiconduttori chiedono a una sorgente UV più della maggior parte delle applicazioni. La lunghezza d'onda deve corrispondere al fotoiniziatore o al fotoresist, la luce deve essere uniforme su tutto il wafer o substrato e il pezzo non deve scaldarsi. Un LED UV emette a una lunghezza d'onda determinata dal suo materiale semiconduttore, senza infrarossi nel fascio, e fornisce quindi esattamente la luce di cui il processo ha bisogno e poco altro.

I semiconduttori sono un'area di sviluppo prioritaria per Awellcure: nel 2025 e 2026 il produttore sta ampliando la propria ricerca UV per semiconduttori e moduli ottici.

Dove si usa

• Distacco del nastro UV: dopo il taglio (dicing), un sistema di polimerizzazione del nastro UV irraggia dal basso a 365 nm il nastro di dicing su wafer da 200 mm (8 in) o 300 mm (12 in). L'adesivo del nastro polimerizza e perde la propria adesività, così i die si possono prelevare in modo pulito.
• Packaging dei chip: polimerizzazione di adesivi e incapsulanti che proteggono e fissano il chip nel suo package.
• Rivestimenti protettivi e maschere per wafer: rivestimenti antiumidità e maschere polimerizzati in pochi secondi, a bassa temperatura.
• Esposizione UV: la luce UV attraversa una maschera e una lente e raggiunge un fotoresist. Dopo sviluppo e incisione, il motivo viene trasferito sul substrato. Lo stesso principio si usa per produrre chip microfluidici.
• Scansione di grandi superfici: una sorgente luminosa lineare si sposta sul substrato e irraggia uniformemente grandi superfici in un solo passaggio.

Che cosa richiede il processo

• La lunghezza d'onda giusta: fotoresist e adesivi UV reagiscono a lunghezze d'onda fisse. Occorre prima confermare la lunghezza d'onda di risposta del materiale e poi scegliere la sorgente luminosa.
• Uniformità: l'intensità può variare tra il centro e il bordo dell'area irraggiata, con effetti diretti sulla resa. Le lenti a occhio di mosca distribuiscono una sorgente puntiforme in un campo uniforme, e le lenti collimatrici producono luce parallela per l'esposizione. Awellcure ha avviato la produzione di serie di una sorgente luminosa di esposizione altamente uniforme con un semiangolo di 1,5°.
• Poco calore: le sorgenti UV LED polimerizzano senza infrarossi, quindi materiali sensibili al calore e substrati sottili restano integri.
• Verifica: un radiometro UV controlla irraggiamento e dose su tutto il wafer, per dimostrare che il processo resta entro la propria finestra.

Per un approccio passo per passo a lunghezza d'onda, dose e geometria, si veda Come scegliere una lampada UV.