Semiconductores

Los procesos de semiconductores exigen a una fuente UV más que la mayoría. La longitud de onda debe coincidir con el fotoiniciador o la fotorresina, la luz debe ser uniforme en toda la oblea o el sustrato, y la pieza no debe calentarse. Un LED UV emite a una longitud de onda determinada por su material semiconductor, sin infrarrojos en el haz, por lo que aporta exactamente la luz que necesita el proceso y poco más.

Los semiconductores son un eje del desarrollo de Awellcure: en 2025 y 2026 el Fabricante amplía su investigación UV para semiconductores y módulos ópticos.

Dónde se utiliza

• Despegue de cinta UV: tras el corte en dados, un sistema de curado de cinta UV irradia desde abajo a 365 nm la cinta de corte de obleas de 200 mm (8 in) o 300 mm (12 in). El adhesivo de la cinta cura y pierde su adherencia, de modo que los chips pueden recogerse limpiamente.
• Encapsulado de chips: curado de los adhesivos y encapsulantes que protegen y fijan el chip en su encapsulado.
• Recubrimientos protectores y máscaras de oblea: recubrimientos antihumedad y máscaras curados en segundos, a baja temperatura.
• Exposición UV: la luz UV atraviesa una máscara y una lente hasta una fotorresina. Tras el revelado y el grabado, el patrón se transfiere al sustrato. El mismo principio se utiliza para fabricar chips microfluídicos.
• Barrido de grandes superficies: una fuente de luz lineal se desplaza sobre el sustrato e irradia grandes superficies de forma uniforme en una sola pasada.

Qué necesita el proceso

• La longitud de onda adecuada: las fotorresinas y los adhesivos UV reaccionan a longitudes de onda fijas. Confirme primero la longitud de onda de respuesta del material y elija después la fuente de luz.
• Uniformidad: la intensidad puede variar entre el centro y el borde de la zona irradiada, lo que repercute directamente en el rendimiento. Las lentes de ojo de mosca reparten una fuente puntual en un campo homogéneo, y las lentes colimadoras producen luz paralela para la exposición. Awellcure ha llevado a la producción en serie una fuente de luz de exposición muy uniforme con un semiángulo de 1,5°.
• Bajo calor: las fuentes LED UV curan sin infrarrojos, por lo que los materiales sensibles al calor y los sustratos finos no sufren daños.
• Verificación: un radiómetro UV comprueba la irradiancia y la dosis en toda la oblea, para que pueda demostrar que el proceso se mantiene dentro de su ventana.

Para un enfoque paso a paso sobre longitud de onda, dosis y geometría, lea Cómo elegir una lámpara UV.