Halfgeleiders

Halfgeleiderprocessen stellen hogere eisen aan een UV-bron dan de meeste andere. De golflengte moet passen bij de foto-initiator of fotoresist, het licht moet homogeen zijn over de hele wafer of het hele substraat, en het onderdeel mag niet opwarmen. Een UV-led straalt uit op een golflengte die door het halfgeleidermateriaal wordt bepaald, zonder infrarood in de bundel, en levert dus precies het licht dat het proces nodig heeft en weinig meer.

Halfgeleiders zijn een speerpunt in de ontwikkeling van Awellcure: in 2025 en 2026 breidt de fabrikant het UV-onderzoek voor halfgeleiders en optische modules uit.

Waar het wordt toegepast

• Lossen van UV-tape: na het dicen bestraalt een UV-tape-uithardingssysteem de dicingtape op wafers van 200 mm (8 inch) of 300 mm (12 inch) van onderaf op 365 nm. De lijm van de tape hardt uit en verliest zijn kleefkracht, zodat de dies schoon kunnen worden opgepakt.
• Chipverpakking: het uitharden van de lijmen en inkapselingsmaterialen die de chip in zijn behuizing beschermen en fixeren.
• Beschermende coatings en wafermaskers: vochtwerende coatings en maskers die in seconden uitharden, bij lage temperatuur.
• UV-belichting: UV-licht gaat via een masker en lens naar een fotoresist. Na ontwikkelen en etsen is het patroon op het substraat overgebracht. Hetzelfde principe wordt gebruikt voor het maken van microfluïdische chips.
• Scannen van grote oppervlakken: een lijnlichtbron beweegt over het substraat en bestraalt grote oppervlakken in één doorgang gelijkmatig.

Wat het proces vraagt

• De juiste golflengte: fotoresists en UV-lijmen reageren op vaste golflengten. Bevestig eerst de responsgolflengte van het materiaal en kies daarna de lichtbron.
• Homogeniteit: de intensiteit kan verschillen tussen het midden en de rand van het bestraalde vlak, wat direct zichtbaar is in de opbrengst. Vliegenooglenzen spreiden een puntbron uit tot een gelijkmatig veld, en collimatorlenzen produceren parallel licht voor belichting. Awellcure heeft een zeer homogene belichtingsbron met een halve hoek van 1,5° in serieproductie gebracht.
• Weinig warmte: UV-led-bronnen harden uit zonder infrarood, zodat warmtegevoelige materialen en dunne substraten onbeschadigd blijven.
• Verificatie: een UV-radiometer controleert bestralingssterkte en dosis over de wafer, zodat u kunt aantonen dat het proces binnen zijn venster blijft.

Lees Een UV-lamp kiezen voor een stapsgewijze aanpak van golflengte, dosis en geometrie.