Halbleiter

Halbleiterprozesse stellen höhere Anforderungen an eine UV-Quelle als die meisten anderen. Die Wellenlänge muss zum Photoinitiator oder Fotoresist passen, das Licht muss über den gesamten Wafer oder das Substrat gleichmäßig sein, und das Teil darf sich nicht erwärmen. Eine UV-LED emittiert bei einer durch ihr Halbleitermaterial festgelegten Wellenlänge, ohne Infrarotanteil im Strahl, und liefert so genau das Licht, das der Prozess braucht, und kaum etwas anderes.

Halbleiter sind ein Entwicklungsschwerpunkt von Awellcure: 2025 und 2026 baut der Hersteller seine UV-Forschung für Halbleiter und optische Module aus.

Einsatzbereiche

• Lösen von UV-Tape: Nach dem Vereinzeln bestrahlt ein UV-Tape-Härtungssystem das Dicing-Tape auf Wafern mit 200 mm (8 Zoll) oder 300 mm (12 Zoll) von unten mit 365 nm. Der Klebstoff des Tapes härtet aus und verliert seine Haftung, sodass die Dies sauber entnommen werden können.
• Chip-Packaging: Härten der Klebstoffe und Vergussmassen, die den Chip im Gehäuse schützen und fixieren.
• Schutzbeschichtungen und Wafermasken: feuchtigkeitsbeständige Beschichtungen und Masken, in Sekunden bei niedriger Temperatur gehärtet.
• UV-Belichtung: UV-Licht fällt durch eine Maske und eine Linse auf einen Fotoresist. Nach Entwickeln und Ätzen ist das Muster auf das Substrat übertragen. Nach demselben Prinzip werden Mikrofluidik-Chips hergestellt.
• Großflächiges Scannen: Eine Linienlichtquelle fährt über das Substrat und bestrahlt große Flächen in einem Durchgang gleichmäßig.

Was der Prozess braucht

• Die richtige Wellenlänge: Fotoresists und UV-Klebstoffe reagieren bei festen Wellenlängen. Klären Sie zuerst die Ansprechwellenlänge des Materials und wählen Sie dann die Lichtquelle.
• Homogenität: Die Intensität kann zwischen Mitte und Rand der bestrahlten Fläche abweichen, was sich direkt in der Ausbeute niederschlägt. Wabenkondensoren (Fly's-Eye-Linsen) verteilen eine Punktquelle auf ein gleichmäßiges Feld, und Kollimationslinsen erzeugen paralleles Licht für die Belichtung. Awellcure hat eine hochhomogene Belichtungslichtquelle mit einem Halbwinkel von 1,5° in Serie gebracht.
• Geringe Wärme: UV-LED-Quellen härten ohne Infrarot, sodass wärmeempfindliche Materialien und dünne Substrate unbeschädigt bleiben.
• Verifizierung: Ein UV-Radiometer prüft Bestrahlungsstärke und Dosis über den Wafer, sodass Sie nachweisen können, dass der Prozess in seinem Fenster bleibt.

Eine schrittweise Vorgehensweise zu Wellenlänge, Dosis und Geometrie finden Sie in So wählen Sie eine UV-Lampe.