UV Curing OvenAWM1-JJ01
Kompaktes UV-LED-System mit Schubladenbeschickung, das Waferrahmen mit 6 und 8 Zoll von unten bei 365 nm bestrahlt und so die Haftung des UV-Tapes vor dem Die-Picking reduziert.
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Nach dem Wafer-Dicing oder Rückseitenschleifen muss das UV-Tape, das die Dies hält, vor dem Picken gelöst werden. Das AWM1-JJ01 bestrahlt das Tape von unten mit einem UV-LED-Array bei 365 nm, wodurch seine Haftung sinkt und sich die Dies im nächsten Prozessschritt sauber abheben lassen.
Waferrahmen in die Schublade einlegen, Belichtungszeit und Bestrahlungsstärke am Touchscreen einstellen und den Zyklus starten. Die geschlossene Bauweise hält das UV-Licht im Gehäuse, und die LED-Quelle bleibt kühl, sodass wärmeempfindliche Materialien nicht beschädigt werden. Für Wafer mit 10 und 12 Zoll wählen Sie das 12-Zoll-System.
Lösen von UV-Tape nach dem Dicing, Schleifen und Dünnen von Siliziumwafern, Glas, Keramik und anderen Halbleitersubstraten.
| Wafergröße | 6 und 8 inch |
|---|---|
| Bestrahlungsfläche | 260 × 260 mm |
| Wellenlänge | 365 nm |
| LED-Quelle | SVC-UV-LED |
| Bestrahlungsstärke | > 600 mW/cm² |
| Bestrahlungsrichtung | Von unten nach oben |
| Einstellbare Parameter | Belichtungszeit und Bestrahlungsstärke |
| Bedienung | Touchscreen, Englisch |
| LED-Lebensdauer | 20.000 h |
| Kühlung | Luft |
| Außenmaße (L × B × H) | 400 × 400 × 360 mm |
|---|---|
| Versorgungsspannung | 100 bis 240 V AC, 50/60 Hz |
| Gesamtleistung | 1.000 W |
| Gehäuse | Weißes Stahlblech |
| Gewicht | 40 kg netto, 55 kg in Holzkiste |
AO180180
Kompakter UV-LED-Tischofen mit aufklappbarer Tür, 180 × 180 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 100 × 100 mm für die abgeschirmte Härtung von Kleinteilen und Proben.
AO300300
Würfelförmiger UV-LED-Ofen mit aufklappbarer Tür, 300 × 300 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 250 × 250 mm für die abgeschirmte Chargenhärtung größerer Teile und Träger.
AO04
Flacher UV-LED-Ofen von 400 × 400 × 130 mm mit ausziehbarer Schublade und einem Strahlerkopf von 150 × 150 mm; das Einschieben der Schublade startet die Belichtung.
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