UV Curing OvenAWM1-JJ01
Système LED UV compact à chargement par tiroir qui irradie par le dessous des cadres de wafers de 6 et 8 pouces à 365 nm, réduisant l'adhérence du film UV avant le prélèvement des puces.
Prix, délais de livraison et conseils techniques sur demande.
Après la découpe ou la rectification face arrière des wafers, le film UV qui maintient les puces doit se décoller avant le prélèvement. L'AWM1-JJ01 irradie le film par le dessous avec une matrice LED UV à 365 nm, ce qui réduit son adhérence : les puces se détachent proprement à l'étape suivante du procédé.
Placez le cadre de wafer dans le tiroir, réglez le temps d'exposition et l'irradiance sur l'écran tactile et lancez le cycle. La conception fermée retient la lumière UV dans le boîtier, et la source LED chauffe peu : les matériaux sensibles à la chaleur ne sont pas endommagés. Pour les wafers de 10 et 12 pouces, choisissez le système 12 pouces.
Décollement de film UV après découpe, rectification et amincissement de wafers de silicium, de verre, de céramiques et d'autres substrats semi-conducteurs.
| Taille de wafer | 6 et 8 inch |
|---|---|
| Zone d'irradiation | 260 × 260 mm |
| Longueur d'onde | 365 nm |
| Source LED | SVC UV LED |
| Irradiance | > 600 mW/cm² |
| Direction d'irradiation | Du bas vers le haut |
| Paramètres réglables | Temps d'exposition et irradiance |
| Fonctionnement | Écran tactile, en anglais |
| Durée de vie des LED | 20 000 h |
| Refroidissement | Air |
| Dimensions extérieures (L × l × H) | 400 × 400 × 360 mm |
|---|---|
| Tension d'alimentation | 100 à 240 V CA, 50/60 Hz |
| Puissance totale | 1 000 W |
| Boîtier | Tôle d'acier blanche |
| Poids | 40 kg net, 55 kg en caisse en bois |
AO180180
Four LED UV de table compact avec porte à charnière, ouverture de 180 × 180 mm et tête d'irradiation de 100 × 100 mm, pour la polymérisation protégée de petites pièces et d'échantillons.
AO300300
Four LED UV cubique avec porte à charnière, ouverture de 300 × 300 mm et tête d'irradiation de 250 × 250 mm, pour la polymérisation protégée par lots de pièces plus grandes et de plateaux.
AO04
Four LED UV plat de 400 × 400 × 130 mm avec tiroir coulissant et tête d'irradiation de 150 × 150 mm ; la fermeture du tiroir lance l'exposition.
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