UV Curing OvenAWM1-JJ02
Système LED UV à chargement par tiroir qui irradie par le dessous des cadres de wafers de 10 et 12 pouces à 365 nm avec 95 % d'homogénéité, réduisant l'adhérence du film UV avant le prélèvement des puces.
Prix, délais de livraison et conseils techniques sur demande.
L'AWM1-JJ02 est le plus grand des deux systèmes d'insolation de film UV pour wafers. Son tiroir accepte des cadres de wafers jusqu'à 12 pouces, et une matrice LED UV placée sous le tiroir irradie le film à 365 nm avec 95 % d'homogénéité : l'adhérence diminue uniformément sur tout le wafer et les puces se détachent proprement pour le prélèvement.
Réglez le temps d'exposition et l'irradiance sur l'écran tactile et lancez le cycle ; un voyant d'état tricolore indique si le système fonctionne, est en attente ou en défaut. Sa puissance totale de 2 000 W est le double de celle du système 8 pouces, dans le même boîtier de 400 × 400 × 360 mm.
Décollement de film UV après découpe, rectification et amincissement de wafers de silicium, de verre, de céramiques et d'autres composants semi-conducteurs.
| Taille de wafer | 10 et 12 inch |
|---|---|
| Capacité du tiroir (L × l × H) | 380 × 380 × 7 mm |
| Longueur d'onde | 365 nm |
| Source LED | SVC UV LED |
| Irradiance | > 600 mW/cm² |
| Homogénéité | 95 % |
| Direction d'irradiation | Du bas vers le haut |
| Paramètres réglables | Temps d'exposition et irradiance |
| Fonctionnement | Écran tactile, en anglais |
| Refroidissement | Air |
| Dimensions extérieures (L × l × H) | 400 × 400 × 360 mm |
|---|---|
| Tension d'alimentation | 100 à 240 V CA, 50/60 Hz |
| Puissance totale | 2 000 W |
| Boîtier | Tôle d'acier blanche |
| Poids | 55 kg net, 60 kg en caisse en bois |
AO180180
Four LED UV de table compact avec porte à charnière, ouverture de 180 × 180 mm et tête d'irradiation de 100 × 100 mm, pour la polymérisation protégée de petites pièces et d'échantillons.
AO300300
Four LED UV cubique avec porte à charnière, ouverture de 300 × 300 mm et tête d'irradiation de 250 × 250 mm, pour la polymérisation protégée par lots de pièces plus grandes et de plateaux.
AO04
Four LED UV plat de 400 × 400 × 130 mm avec tiroir coulissant et tête d'irradiation de 150 × 150 mm ; la fermeture du tiroir lance l'exposition.
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