UV Curing OvenAWM1-JJ02
UV-LED-System mit Schubladenbeschickung, das Waferrahmen mit 10 und 12 Zoll von unten bei 365 nm mit 95 % Gleichmäßigkeit bestrahlt und so die Haftung des UV-Tapes vor dem Die-Picking reduziert.
Preise, Lieferzeiten und technische Beratung auf Anfrage.
Das AWM1-JJ02 ist das größere der beiden Wafer-UV-Tape-Härtungssysteme. Seine Schublade nimmt Waferrahmen bis 12 Zoll auf, und ein UV-LED-Array unter der Schublade bestrahlt das Tape bei 365 nm mit 95 % Gleichmäßigkeit, sodass die Haftung über den gesamten Wafer gleichmäßig abnimmt und sich die Dies sauber zum Picken lösen.
Belichtungszeit und Bestrahlungsstärke am Touchscreen einstellen und den Zyklus starten; eine dreifarbige Signalleuchte zeigt, ob das System läuft, wartet oder eine Störung hat. Seine Gesamtleistung von 2.000 W ist doppelt so hoch wie die des 8-Zoll-Systems, im selben Gehäuse von 400 × 400 × 360 mm.
Lösen von UV-Tape nach dem Dicing, Schleifen und Dünnen von Siliziumwafern, Glas, Keramik und anderen Halbleiterbauteilen.
| Wafergröße | 10 und 12 inch |
|---|---|
| Schubladenkapazität (L × B × H) | 380 × 380 × 7 mm |
| Wellenlänge | 365 nm |
| LED-Quelle | SVC-UV-LED |
| Bestrahlungsstärke | > 600 mW/cm² |
| Gleichmäßigkeit | 95 % |
| Bestrahlungsrichtung | Von unten nach oben |
| Einstellbare Parameter | Belichtungszeit und Bestrahlungsstärke |
| Bedienung | Touchscreen, Englisch |
| Kühlung | Luft |
| Außenmaße (L × B × H) | 400 × 400 × 360 mm |
|---|---|
| Versorgungsspannung | 100 bis 240 V AC, 50/60 Hz |
| Gesamtleistung | 2.000 W |
| Gehäuse | Weißes Stahlblech |
| Gewicht | 55 kg netto, 60 kg in Holzkiste |
AO180180
Kompakter UV-LED-Tischofen mit aufklappbarer Tür, 180 × 180 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 100 × 100 mm für die abgeschirmte Härtung von Kleinteilen und Proben.
AO300300
Würfelförmiger UV-LED-Ofen mit aufklappbarer Tür, 300 × 300 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 250 × 250 mm für die abgeschirmte Chargenhärtung größerer Teile und Träger.
AO04
Flacher UV-LED-Ofen von 400 × 400 × 130 mm mit ausziehbarer Schublade und einem Strahlerkopf von 150 × 150 mm; das Einschieben der Schublade startet die Belichtung.
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