UV Curing Oven
Geschlossene UV-LED-Kammern für die abgeschirmte Chargenhärtung von Teilen, Mustern und Kleinserien sowie UV-Tape-Härtungssysteme für Wafer.
Ein UV-Härtungsofen ist eine geschlossene Kammer mit einem UV-LED-Strahlerkopf über dem Arbeitsbereich. Teile einlegen, Tür oder Schublade schließen, und die Charge härtet aus, während der Bediener vor UV-Licht geschützt ist. Eine Tür- bzw. Schubladenverriegelung reagiert, wenn die Kammer während der Belichtung geöffnet wird, und die Steuerung legt Belichtungszeit und Bestrahlungsstärke fest.
Die Öfen gibt es mit Öffnungsgrößen von 180 × 180 mm bis 300 × 300 mm und wahlweise mit 365, 385, 395 oder 405 nm, für Labore, Probenvorbereitung und kleine Fertigungschargen. Für Back-End-Prozesse in der Halbleiterfertigung bestrahlen die UV-Tape-Härtungssysteme für Wafer 8-Zoll- oder 12-Zoll-Waferrahmen von unten, um Dicing- und Grinding-Tape zu lösen.
5 Modelle
AO180180
Kompakter UV-LED-Tischofen mit aufklappbarer Tür, 180 × 180 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 100 × 100 mm für die abgeschirmte Härtung von Kleinteilen und Proben.
AO300300
Würfelförmiger UV-LED-Ofen mit aufklappbarer Tür, 300 × 300 mm Öffnung und einem Strahlerkopf von 250 × 250 mm für die abgeschirmte Chargenhärtung größerer Teile und Träger.
AO04
Flacher UV-LED-Ofen von 400 × 400 × 130 mm mit ausziehbarer Schublade und einem Strahlerkopf von 150 × 150 mm; das Einschieben der Schublade startet die Belichtung.
AWM1-JJ01
Kompaktes UV-LED-System mit Schubladenbeschickung, das Waferrahmen mit 6 und 8 Zoll von unten bei 365 nm bestrahlt und so die Haftung des UV-Tapes vor dem Die-Picking reduziert.
AWM1-JJ02
UV-LED-System mit Schubladenbeschickung, das Waferrahmen mit 10 und 12 Zoll von unten bei 365 nm mit 95 % Gleichmäßigkeit bestrahlt und so die Haftung des UV-Tapes vor dem Die-Picking reduziert.
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