Semi-conducteurs

Les procédés des semi-conducteurs exigent davantage d'une source UV que la plupart des autres. La longueur d'onde doit correspondre au photo-initiateur ou à la résine photosensible, la lumière doit être uniforme sur toute la plaquette ou tout le substrat, et la pièce ne doit pas chauffer. Une LED UV émet à une longueur d'onde fixée par son matériau semi-conducteur, sans infrarouge dans le faisceau : elle fournit exactement la lumière dont le procédé a besoin, et guère plus.

Les semi-conducteurs sont un axe de développement d'Awellcure : en 2025 et 2026, le fabricant étend ses recherches UV pour les semi-conducteurs et les modules optiques.

Où elle est utilisée

• Décollement de film UV : après la découpe, un système de polymérisation de film UV irradie par-dessous, à 365 nm, le film de découpe des plaquettes de 200 mm (8 in) ou 300 mm (12 in). L'adhésif du film polymérise et perd son pouvoir collant, de sorte que les puces peuvent être prélevées proprement.
• Packaging de puces : polymérisation des adhésifs et matériaux d'encapsulation qui protègent et fixent la puce dans son boîtier.
• Revêtements de protection et masques de plaquettes : revêtements anti-humidité et masques polymérisés en quelques secondes, à basse température.
• Insolation UV : la lumière UV traverse un masque et une lentille pour atteindre une résine photosensible. Après développement et gravure, le motif est transféré sur le substrat. Le même principe sert à fabriquer des puces microfluidiques.
• Balayage de grandes surfaces : une source linéaire se déplace au-dessus du substrat et irradie uniformément de grandes surfaces en un seul passage.

Ce dont le procédé a besoin

• La bonne longueur d'onde : les résines photosensibles et les adhésifs UV réagissent à des longueurs d'onde fixes. Confirmez d'abord la longueur d'onde de réponse du matériau, puis choisissez la source lumineuse.
• Uniformité : l'intensité peut différer entre le centre et le bord de la zone irradiée, ce qui se répercute directement sur le rendement. Les lentilles en œil de mouche répartissent une source ponctuelle en un champ uniforme, et les lentilles de collimation produisent une lumière parallèle pour l'insolation. Awellcure a lancé en production de série une source d'insolation très uniforme avec un demi-angle de 1,5°.
• Faible échauffement : les sources à LED UV polymérisent sans infrarouge, de sorte que les matériaux sensibles à la chaleur et les substrats fins restent intacts.
• Vérification : un radiomètre UV contrôle l'éclairement et la dose sur toute la plaquette, pour prouver que le procédé reste dans sa fenêtre.

Pour une démarche pas à pas sur la longueur d'onde, la dose et la géométrie, lisez Comment choisir une lampe UV.