Półprzewodniki

Procesy półprzewodnikowe stawiają źródłu UV wyższe wymagania niż większość innych. Długość fali musi odpowiadać fotoinicjatorowi lub fotorezystowi, światło musi być równomierne na całym waferze lub podłożu, a detal nie może się nagrzewać. Dioda UV LED emituje na długości fali wyznaczonej przez jej materiał półprzewodnikowy, bez podczerwieni w wiązce, więc dostarcza dokładnie takie światło, jakiego potrzebuje proces, i niewiele więcej.

Półprzewodniki są jednym z priorytetów rozwoju Awellcure: w latach 2025 i 2026 producent rozszerza badania nad UV dla półprzewodników i modułów optycznych.

Gdzie się to stosuje

• Zwalnianie taśmy UV: po cięciu system utwardzania taśmy UV naświetla od spodu taśmę do cięcia na waferach 200 mm (8 in) lub 300 mm (12 in) przy 365 nm. Klej taśmy utwardza się i traci lepkość, dzięki czemu struktury można czysto zdjąć.
• Pakowanie chipów: utwardzanie klejów i mas hermetyzujących, które chronią i mocują chip w obudowie.
• Powłoki ochronne i maski waferów: powłoki przeciwwilgociowe i maski utwardzane w kilka sekund w niskiej temperaturze.
• Naświetlanie UV: światło UV przechodzi przez maskę i soczewkę na fotorezyst. Po wywołaniu i trawieniu wzór zostaje przeniesiony na podłoże. Na tej samej zasadzie wytwarza się chipy mikroprzepływowe.
• Skanowanie dużych powierzchni: liniowe źródło światła przesuwa się nad podłożem i równomiernie naświetla duże powierzchnie w jednym przejściu.

Czego wymaga proces

• Właściwa długość fali: fotorezysty i kleje UV reagują na określone długości fal. Najpierw należy potwierdzić długość fali, na którą reaguje materiał, a potem wybrać źródło światła.
• Równomierność: natężenie może się różnić między środkiem a krawędzią naświetlanego pola, co bezpośrednio wpływa na uzysk. Soczewki typu muszego oka rozpraszają źródło punktowe w równomierne pole, a soczewki kolimujące wytwarzają światło równoległe do naświetlania. Awellcure wprowadził do produkcji seryjnej wysoce równomierne źródło światła do naświetlania o półkącie 1,5°.
• Niskie obciążenie cieplne: źródła UV LED utwardzają bez podczerwieni, więc materiały wrażliwe na ciepło i cienkie podłoża pozostają nieuszkodzone.
• Weryfikacja: radiometr UV sprawdza natężenie promieniowania i dawkę na całym waferze, co pozwala wykazać, że proces pozostaje w swoim oknie.

Długość fali, dawkę i geometrię krok po kroku omawia poradnik Jak wybrać lampę UV.